揮發性有機化合物處理
●簡介
VOCs為化工、光電半導體等產業常見的製程副產物。VOCs產生後會進入周遭大氣環境，因此若無妥善收集攔截，便會逸散至周遭環境而造成污染。
VOCs處理系統主要以風量、VOCs組成、濃度、容許壓損等參數為設計與選型依據，其中VOCs組成若過於複雜，通常需要進行前期測試，才能決定適用的吸附材料。
●技術架構
本公司VOCs處理技術主要透過低溫觸媒燃燒法，將VOCs氧化轉為燃燒最終產物二氧化碳與水。
VOCs處理程序流程
系統主要包括兩項核心單元：
◎吸附單元
(1)吸附劑材質：沸石材料
(2)用途：濃縮VOCs，通常針對低濃度(ex: <1,000ppmw)來源氣。單位氣量所含VOCs濃度較低時，燃燒後放熱量可能無法支撐觸媒燃燒所需之工作溫度，使系統必須持續對觸媒燃燒單元加熱，造成高能源成本支出。若來源氣中VOCs濃度較高，可使觸媒燃燒程序透過VOCs燃燒放熱持溫不墜，則能省略吸附程序。
(3)效果：吸附飽和後透過熱風脫附程序，可使脫附風中濃度提升至少10倍以上。
(4)其他重要技術特徵：
- 適用來源VOCs濃度範圍：> 10ppm
- 脫附再生溫度：<180℃
- 吸附飽和時間：依來源VOCs濃度、組成與氣量等條件而定。
- 至少設置2座以上單元交互切換
(5)注意事項：若具有黏性較高組成或矽油等，需加設專用過濾器於吸附單元前。
◎觸媒燃燒單元
(1)觸媒材質：金屬/氧化物複合材料
(2)用途：在工作溫度(通常為180℃以上)下將VOCs分子氧化，轉為燃燒最終產物二氧化碳與水後排放，氧化釋放的熱能同時支撐觸媒單元工作溫度。
(3)效果：氧化分解VOCs，通常削減率≧98％
(4)其他重要技術特徵：電熱加熱, 配備熱回收機構減少能耗。
(5)注意事項：若VOCs中含有硫份、鹵素等成分，需進一步評估對觸媒之影響，以設定合適更換頻率。
●運作方式
- 吸附：來源氣經吸附塔淨化後排放至大氣，吸附飽和後切換至下一吸附塔維持淨化作業。
- 脫附：啟動熱風脫附機構對飽和之吸附塔進行再生，脫附之VOCs進入觸媒塔氧化分解後排放至大氣。
- 冷卻：啟動冷卻機構降低再生後吸附塔溫度，以進行下一輪吸附。
●主要規格
- 單一模組處理風量(CMM)：100, 400, 800
- 全電力運作, 平均耗電量<0.12kW / CMM
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細部設計需依照實際客戶條件而定