揮發性有機化合物處理

●簡介

VOCs為化工、光電半導體等產業常見的製程副產物。VOCs產生後會進入周遭大氣環境,因此若無妥善收集攔截,便會逸散至周遭環境而造成污染。


VOCs處理系統主要以風量、VOCs組成、濃度、容許壓損等參數為設計與選型依據,其中VOCs組成若過於複雜,通常需要進行前期測試,才能決定適用的吸附材料。


●技術架構

本公司VOCs處理技術主要透過低溫觸媒燃燒法,將VOCs氧化轉為燃燒最終產物二氧化碳與水。

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VOCs處理程序流程

系統主要包括兩項核心單元:

◎吸附單元

(1)吸附劑材質:沸石材料
(2)用途:濃縮VOCs,通常針對低濃度(ex: <1,000ppmw)來源氣。單位氣量所含VOCs濃度較低時,燃燒後放熱量可能無法支撐觸媒燃燒所需之工作溫度,使系統必須持續對觸媒燃燒單元加熱,造成高能源成本支出。若來源氣中VOCs濃度較高,可使觸媒燃燒程序透過VOCs燃燒放熱持溫不墜,則能省略吸附程序。
(3)效果:吸附飽和後透過熱風脫附程序,可使脫附風中濃度提升至少10倍以上。
(4)其他重要技術特徵:
    • 適用來源VOCs濃度範圍:> 10ppm
    • 脫附再生溫度:<180℃
    • 吸附飽和時間:依來源VOCs濃度、組成與氣量等條件而定。
    • 至少設置2座以上單元交互切換
(5)注意事項:若具有黏性較高組成或矽油等,需加設專用過濾器於吸附單元前。

◎觸媒燃燒單元

(1)觸媒材質:金屬/氧化物複合材料
(2)用途:在工作溫度(通常為180℃以上)下將VOCs分子氧化,轉為燃燒最終產物二氧化碳與水後排放,氧化釋放的熱能同時支撐觸媒單元工作溫度。
(3)效果:氧化分解VOCs,通常削減率≧98%
(4)其他重要技術特徵:電熱加熱, 配備熱回收機構減少能耗。
(5)注意事項:若VOCs中含有硫份、鹵素等成分,需進一步評估對觸媒之影響,以設定合適更換頻率。

●運作方式
  • 吸附:來源氣經吸附塔淨化後排放至大氣,吸附飽和後切換至下一吸附塔維持淨化作業。
  • 脫附:啟動熱風脫附機構對飽和之吸附塔進行再生,脫附之VOCs進入觸媒塔氧化分解後排放至大氣。
  • 冷卻:啟動冷卻機構降低再生後吸附塔溫度,以進行下一輪吸附。

●主要規格
  • 單一模組處理風量(CMM):100, 400, 800
  • 全電力運作, 平均耗電量<0.12kW / CMM 
  • 細部設計需依照實際客戶條件而定